发明名称 一种真空油扩散泵
摘要 一种真空油扩散泵,包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口,其特征在于,还包括一测温及其控制系统。本实用新型可对扩散泵油温进行测量,从而利用温控仪及其控制电路来改变加热功率,控制扩散泵油温,使扩散泵达到最佳的工作状态,更起到节能的目的。另外,可对加热盘采取保温措施,以降低加热盘的实际使用功率。
申请公布号 CN201265565Y 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CN200820122622.1 申请日期 2008.09.19
申请人 宁波科宁达工业有限公司;北京中科三环高技术股份有限公司 发明人 樊旗根;张杭海;张蔚
分类号 F04F9/00(2006.01)I;F04F9/08(2006.01)I 主分类号 F04F9/00(2006.01)I
代理机构 北京王景林知识产权代理事务所 代理人 王景林;梁 洁
主权项 1. 一种真空油扩散泵,包括被抽气体的进气口、对油蒸汽进行加热的加热器、使油蒸汽被加热器加热后上升的泵芯、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口,其特征在于,还包括测温及其控制系统。
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