蒸镀遮罩、蒸镀遮罩装置、蒸镀遮罩之制造方法、蒸镀遮罩装置之制造方法及蒸镀遮罩用之片状构件之制造方法

摘要

本发明提供一种制造能够执行极高精细图案制作之蒸镀遮罩的蒸镀遮罩之制造方法。蒸镀遮罩之制造方法中，利用蚀刻使孔形成在金属制薄片。所蚀刻的金属薄片是以支撑在树脂制薄片上的层叠体供应。于蚀刻后，去除层叠体的树脂制薄片。