基片夹持环(2)

摘要

后视图、左视图、右视图分别与主视图相同，故省略后视图、左视图、右视图。本外观设计产品的用途是在半导体加工过程中夹持抛光当中的基片(例如晶片)，并且被设置在抛光装置顶环的周边处使用状态参考图和参考示意图中的C、D、E、F、G、H、I分别代表顶环、本外观设计产品、晶片、抛光垫、修整器、防尘帽边、排放孔。