低温泵、低温泵单元、包括低温泵单元的真空处理设备以及低温泵再生方法

摘要

本发明提供一种低温泵、低温泵单元、包括低温泵单元的真空处理设备以及低温泵再生方法，该低温泵再生方法，其包括升高低温板的温度以使冷凝在低温板的排气表面上的气体分子蒸发的升温步骤、抽空泵容器的抽空步骤、确定泵容器的内部压力是否已经达到比0℃的水蒸汽压力高的设定压力的确定步骤、停止抽空并执行压力升高测试的压力升高测试步骤、以及基于泵容器的内部压力观测残留水分的观测步骤。

主权项

1. 一种再生方法，其在包括泵容器、设在泵容器内的低温板和用于冷却低温板的制冷器的低温泵中执行，并且通过将含有水蒸汽的气体分子冷凝在低温板上而执行排气，其包括以下步骤：升温步骤：升高低温板的温度以使冷凝在低温板上的气体分子蒸发并将它们排放到泵容器中；抽空步骤：基于低温板的温度状态执行抽空；确定步骤：确定泵容器的内部压力是否已经达到比0℃下的水蒸汽压力高的设定压力；压力升高测试步骤：当在确定步骤中确定泵容器的内部压力已经达到设定压力时，停止抽空并执行压力升高测试；以及观测步骤：在压力升高测试期间，基于泵容器的内部压力观测残留水分。