发明名称 图像传感器及其制造方法
摘要 实施例涉及一种图像传感器及其制造方法。根据实施例,一种图像传感器可以包括在第一基板上方的金属互连连接和读出电路、在所述金属互连连接上方的金属层、以及电连接到所述金属层的图像感测器件。根据实施例,不会在Si表面上和/或上方产生电场。这可以有利于3D集成CMOS图像传感器的暗电流的减少。
申请公布号 CN101471362A 申请公布日期 2009.07.01
申请号 CN200810186233.X 申请日期 2008.12.17
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 黄俊
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 朱 胜;王 萍
主权项 1. 一种器件,包括:在第一基板上方的金属互连连接和读出电路;在所述金属互连连接上方的金属层;以及电连接到所述金属层的图像感测器件。
地址 韩国首尔