硅片脱水干燥机构

摘要

本实用新型公开了一种高效的硅片脱水干燥机构，主要由慢排干燥槽组成，在慢排干燥槽上方左右两侧各设有自动密封盖，自动密封盖可绕铰接轴90度转动，当两自动密封盖边缘配合即构成封闭空间，自动密封盖中间设置有吹气管；在生产线上，根据工艺时间要求，可多工位设置，同时结合上下料传送机构，可实现自动化控制；本实用新型用慢排干燥槽和吹气管替代了传统的慢提机构和干燥隧道，降低了设备制造成本；在干燥处理时，硅片处于静止状态，同时由上往下平行于硅片吹气，有效提高了生产率；慢排干燥槽设置有自动密封盖，有利于保证干燥环境的洁净，减少二次污染。

主权项

1、一种硅片脱水干燥机构，包括半封闭结构的慢排干燥槽(2)，其特征在于：所述慢排烘干槽(2)上方设有自动密封盖(4)，自动密封盖上设置有吹气管(3)。