| 发明名称 | 真空抽气装置 | ||
| 摘要 | 一种真空抽气装置，与一待抽气空间连通，包括一第一泵(pump)、一第二泵，以及一控制电路。控制电路与第一泵及第二泵电性连接，用以选择性控制第一泵及第二泵的运作。当控制电路控制第一泵单独启动时，第一泵用以将待抽气空间抽气为一第一真空环境；当控制电路控制第一泵及第二泵同时启动时，第一泵及第二泵用以将待抽气空间抽气为一第二真空环境。第二真空环境的压力小于第一真空环境的压力。 | ||
| 申请公布号 | CN100507269C | 申请公布日期 | 2009.07.01 |
| 申请号 | CN200510119335.6 | 申请日期 | 2005.11.02 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 出永川;曾国邦 |
| 分类号 | F04B37/14(2006.01)I;F04B41/06(2006.01)I;F04B49/06(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | F04B37/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 魏晓刚;李晓舒 |
| 主权项 | 1. 一种真空抽气装置，与一待抽气空间连通，其特征在于，该真空抽气装置包括：一第一泵及一第二泵；以及一控制电路，与该第一泵及该第二泵电性连接，用以选择性控制该第一泵及该第二泵的运作；当该控制电路控制该第一泵单独启动时，该第一泵用以将该待抽气空间抽气为一第一真空环境；当该控制电路控制该第一泵及该第二泵同时启动时，该第一泵及该第二泵用以将该待抽气空间抽气为一第二真空环境，该第二真空环境的压力小于该第一真空环境的压力。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区 | ||