焊盘图案检查方法以及检查装置

摘要

本发明提供一种焊盘图案检查方法以及检查装置。控制部(21)从焊盘坐标文件(30)中读取作为被检查对象的印刷基板上的焊盘坐标以及该焊盘的标准图像。接下来，拍摄读取了的焊盘坐标的焊盘，并生成二值化了的对象图像。进而，在该焊盘图像中抽取焊盘部分的坐标，并存储在1-像素部分坐标文件(31)中。接下来，从填孔圆图案表(29)中读取规定的圆图像，对该圆图像只进行规定次数的收缩处理。此时，如果成为关注点的像素的坐标对应于上述焊盘部分的坐标，则对该关注点不进行收缩处理。而且，通过对收缩后的圆图像与标准图像进行比较，而检查该焊盘有无细微的缺陷。

主权项

1. 一种焊盘图案检查方法，对拍摄形成在被检查物上的焊盘图案所得到的对象图像与该焊盘图案的标准图像进行比较，由此对该被检查物的焊盘图案形状进行检查，其特征在于，包括：对象图像作成步骤，其对形成在上述被检查物上的焊盘图案进行拍摄，并对拍摄获得的图像进行二值化，以此作成对象图像，孔识别步骤，其从上述对象图像中测量形成在焊盘图案上的通孔的直径，填孔圆图像生成步骤，其基于所测量的上述直径，生成直径比上述焊盘图案的焊盘直径更大的圆的图像即填孔圆图像，填孔圆图像收缩步骤，其对上述填孔圆图像重复执行预先设定的次数以上的收缩处理，合成图像生成步骤，其对收缩后的上述填孔圆图像与上述对象图像进行合成，从而生成合成图像，焊盘图案检查步骤，其对上述标准图像与上述合成图像进行比较，以此检查该被检查物的焊盘的图案形状；在上述填孔圆图像收缩步骤中，在同一坐标轴上进行上述对象图像与上述填孔圆图像的位置重合，并在判断为关注点对应于上述对象图像中的焊盘部分时，不对该关注点进行上述收缩处理，其中，上述关注点是指，在构成上述填孔圆图像的像素中成为上述收缩处理的对象的像素。