充气设备

摘要

一种充气设备，与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个具有入气部分用以存放半导体元件或光罩之存放装置中，包含有至少一个承座，用以承载存放装置；至少一个入气埠装置，设于承座上。该入气埠装置包含有承接部，其顶部与该存放装置之入气部分成弧面与弧面之线接触；通孔，供气体通过；以及接合部，与该供气部分连接。