薄膜体声波共振器之制造方法

摘要

一种薄膜体声波共振器之制造方法，其系至少包含提供一具有一第一表面及一第二表面之矽基板，该第一表面系形成有一保护层；形成一第一电极层于该保护层上；蚀刻该矽基板之该第二表面以形成一共振腔；形成一压电层于该保护层上，并且该压电层系覆盖该第一电极层；利用一雷射光照射该压电层并对该压电层进行改质处理，其系使该压电层内之组成晶粒成长；形成一第二电极层于该压电层上。