| 摘要 |
为了提供一种来自剥离液废液的剥离液之再生方法及再生装置。前述再生方法，是在从液晶显示面板的制造过程排出之光阻剥离液废液将其中所含的正型光阻予以分离除去而再生剥离液之方法，其中，将相对于前述剥离液废液所含的光阻质量为0.01~0.2倍质量的硷性化合物，添加于该剥离液废液中。前述再生装置，是在从液晶显示面板的制造过程排出之光阻剥离液废液将其中所含的正型光阻予以分离除去而再生剥离液之装置，其中，系具备：从前述剥离液废液分离除去其中的低沸点成分之低沸点物除去塔、从前述剥离液废液分离除去其中的高沸点成分之薄膜式蒸发器、以及从剩余的液体中分离回收精制剥离液之剥离液精制塔；而且具备：让前述剥离液废液流过该低沸点物除去塔、该薄膜式蒸发器以及该剥离液精制塔之间，而以精制剥离液的状态进行回收的配管系统；在前述薄膜式蒸发器及/或比其更上游侧的配管系统，系具备用来将硷性化合物添加于该剥离液废液之硷添加手段。 |
