Menetelmä puolijohdelaitteessa käytettävän alumiinioksidikalvon valmistamiseksi,申请号FI20000002871-传众专利搜索

发明名称	Menetelmä puolijohdelaitteessa käytettävän alumiinioksidikalvon valmistamiseksi
摘要
申请公布号	FI120118(B)	申请公布日期	2009.06.30
申请号	FI20000002871	申请日期	2000.12.28
申请人	HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD	发明人	LIM, CHAN;KIM, KYONG-MIN;YU, YONG-SIK
分类号	H01L21/31;H01L21/316;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/822;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/105	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
主权项
地址