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发明名称
PLATE, APPARATUS OF ADJUSTING A TEMPERATURE OF A SUBSTRATE HAVING THE SAME AND APPARATUS OF TREATING A SUBSTRATE HAVING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100905258(B1)
申请公布日期
2009.06.29
申请号
KR20070069442
申请日期
2007.07.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/324;F27D99/00;H01L21/02
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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