| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION DE BILLES METALLIQUES PAR PLASMA A PARTIR D'UNE COUCHE COMPORTANT PLUSIEURS ELEMENTS |
| 摘要 |
L'invention concerne un procédé de fabrication de billes composées d'au moins un matériau conducteur électrique. Un tel procédé comprend les étapes suivantes :- dépôt, sur un support, d'un alliage comprenant au moins le matériau conducteur électrique et un second matériau;- exposition de l'alliage à une gravure plasma, de manière à entraîner la désorption des éléments, à l'exception d'au moins le matériau conducteur électrique, et la formation de billes composées d'au moins ledit matériau conducteur électrique. |
| 申请公布号 |
FR2925763(A1) |
申请公布日期 |
2009.06.26 |
| 申请号 |
FR20070060347 |
申请日期 |
2007.12.24 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL |
发明人 |
GRENOUILLET LAURENT;GARCIA JONATHAN;MARION FRANCOIS;OLIVIER NICOLAS;PERRIN MARION |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L23/485;H01L23/495 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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