| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Prozessgasen für die Dampfphasenabscheidung |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Schichten auf Werkstücken (30), bei dem wenigstens eine Komponente zur Herstellung der Schicht dosiert wird, wobei sich diese Komponente während der Dosierung in einer flüssigen Phase befindet und in einem nachfolgenden Prozessschritt zumindest teilweise in einen anderen Aggregatzustand überführt wird.
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| 申请公布号 |
DE102007062977(A1) |
申请公布日期 |
2009.06.25 |
| 申请号 |
DE20071062977 |
申请日期 |
2007.12.21 |
| 申请人 |
SCHOTT AG |
发明人 |
BICKER, MATTHIAS;HAINES, DANIEL;LOHMEYER, MANFRED;BAUCH, HARTMUT;BAUER, STEFAN |
| 分类号 |
C23C16/448;C23C16/04;C23C16/455 |
主分类号 |
C23C16/448 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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