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Zur Bearbeitung bzw. zur Reinigung von Si-Blöcken rden die Si-Blöcke (17) auf einer durchgehenden, horizontalen Transportbahn (14) transportiert durch verschiedene Behandlungsmodule (16, 30, 37, 45, 55). In einem ersten Schritt bzw. einem Reinigungsmodul (16) erfolgt ein alkalisches Reinigen und ein Spülen der Si-Blöcke. Danach erfolgt in einem zweiten Schritt bzw. einem Polierätzmodul (30) ein Polierätzen, wobei beim Polierätzen eine Ätzlösung von allen vier Seiten an die Si-Blöcke gebracht wirm Spülmodul (37).
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