Gassensor und Verfahren zur Herstellung desselben

摘要

Es ist ein Gassensor (100) offenbart. Der Gassensor enthält eine Gas sensitive Schicht (118), die sauerstoffdefizientes dotiertes Wolframoxid und ein Dotierungsmittel enthält, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Re, Ni, Cr, V, W und einer Kombination von diesen besteht, wenigstens eine Elektrode (112), die in einer Titanschicht (114) positioniert ist, und eine Ansprech-Modifikationsschicht (116). Die wenigstens eine Elektrode (112) steht mit der Gas erfassenden Schicht in Kommunikationsverbindung, und die Gas erfassende Schicht (118) ist in der Lage, wenigstens ein Gas nachzuweisen, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus NO, NO2, SOX, O2, H2O und NH3 besteht. Ein Verfahren zur Herstellung des Gassensors ist ebenfalls offenbart.