发明名称
摘要
申请公布号 JP2009524227(A) 申请公布日期 2009.06.25
申请号 JP20080550693 申请日期 2007.01.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/322;H01L21/336;H01L29/12;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
地址