Differenzdruckmesszelle

摘要

Eine Differenzdruckmesszelle (1) zum Erfassen der Druckdifferenz zwischen einem ersten Druck und einem zweiten Druck umfasst: eine elastische Messanordnung mit mindestens einer Messmembran (4), die Silizium aufweist; mindestens einen Trägerkörper (2, 5), der mit der elastischen Messanordnung druckdicht verbunden ist; einen ersten hydraulischen Pfad, um einen ersten Druck auf einen ersten Oberflächenabschnitt der elastischen Messanordnung zu übertragen; einen zweiten hydraulischen Pfad, um einen zweiten Druck auf einen zweiten Oberflächenabschnitt der elastischen Messanordnung zu übertragen, wobei der erste Druck dem zweiten Druck entgegenwirkt und die elastische Auslenkung der Messanordnung ein Maß für die Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Druck ist, wobei die Differenzdruckmesszelle ferner mindestens eine hydraulische Drossel (9, 10) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine hydraulische Drossel poröses Silizium umfasst.