带有微粒吸附垫的标准机械介面设备

摘要

本发明公开了一种带有微粒吸附垫的标准机械介面(SMIF)设备。其具有一附于微粒堆积区的微粒吸附垫，以吸附落于其上的微粒，从而避免扬起的微粒落在晶片表面而影响半导体制程环境以及产品的良率；同时避免了被微粒污染的设备之间的相互污染，减少了清理机台的时间和频率，只需根据微粒吸附垫吸附微粒的状况及时更换，既可以缩短清机时间，还大大提高了机台的运行时间，增加了机台的有效产能。

主权项

1. 一种可减少微粒污染的标准机械介面设备，其特征是，包括：一微粒堆积区；及一微粒吸附垫，附于上述微粒堆积区。