热式质量流量计

摘要

本发明涉及一种热式质量流量计，其提高了温度传感器芯片的测定灵敏度，提高了热式质量流量计的测定性能。在加热器芯片(4)及温度传感器芯片(6、8)的下面侧通过热传导性粘结剂(10)粘结固定配管(2)。加热器芯片(4)及温度传感器芯片(6、8)被模制树脂覆盖，直至在内部形成的元件的热电阻在下面侧最小。

主权项

1. 一种热式质量流量计，其具有测定部和计算部，所述测定部由如下部分构成，即：加热器芯片，其配置在内部有流体流动的配管的周面上，用于加热配管内的流体；和温度传感器芯片对，其在所述配管的周面上，相对于配管在与所述加热器芯片同侧，沿着配管内的流体的流动方向配置在所述加热器芯片的上游侧和下游侧的等距离的位置上，所述温度传感器芯片对由结构与所述加热器芯片不同的芯片类型的温度传感器芯片构成，所述计算部根据所述温度传感器芯片对的各个温度传感器芯片的温度差求出在该配管中流动的流体的流量，所述热式质量流量计的特征在于，所述温度传感器芯片，其表面被模制树脂覆盖，具有从所述模制树脂的下面侧向侧方延伸的输入输出端子，在所述温度传感器芯片的下面侧粘结固定有所述配管。