用于机加工设备的表面形状测定装置及表面形状测定方法

摘要

在空气喷射喷嘴(23)的前端与被加工工件(W)分离开预定间隔h的状态下，空气喷射喷嘴(23)以恒定的速定沿X轴方向移动，从喷嘴主体(27)的喷射孔(27a)喷射空气，并且移动通过工件W的被加工孔(Wb、Wc)的中心(O1、O2)。通过压力测量单元(30)测量压力的变化。基于压力的曲线Lx的倾斜部分(Ld、Lu)的中心点(T1、T2)的相对于被测X轴坐标的坐标，计算孔Wb、Wc的中心O1、O2的X轴坐标、孔直径E和中心间隔距离D1。

主权项

1. 一种用于机加工设备的表面形状测定装置，所述机加工设备利用安装至主轴装置的工具加工工件，所述主轴装置被进行数字控制以沿X、Y和Z轴移动，所述表面形状测定装置测定被测物体的表面形状，包括：流体喷射单元，用于将流体从流体供给源供应至安装在主轴装置上的喷嘴，并且将流体从喷嘴的前端喷射至被测物体；压力测量单元，用于测量流体喷射单元的流体的压力；喷嘴移动控制单元，用于使喷嘴和主轴装置一起移动；表面形状计算单元，用于根据压力测量单元所测得的流体压力的变化来计算被测物体的表面形状；以及通知单元，用于通知由表面形状计算单元所计算出的表面形状的数据，其特征在于，被测物体是设置在参考位置处的夹具，所述夹具是与工件分立的部件，所述表面形状测定装置还包括：Z轴初始坐标值设定单元，用于设定Z轴初始坐标位置处的Z轴初始坐标值，所述Z轴初始坐标位置是主轴装置与夹具平面部分相对并且沿Z轴方向在喷嘴的前端与夹具的平面部分之间具有恒定的预定距离的位置；X轴初始坐标值设定单元，用于设定X轴初始坐标位置处的X轴初始坐标值，所述X轴初始坐标位置是主轴装置与形成在夹具上的第一阶梯部分相对并且沿Z轴方向在喷嘴的前端与第一阶梯部分之间具有恒定的预定距离的位置；Y轴初始坐标值设定单元，用于设定Y轴初始坐标位置处的Y轴初始坐标值，所述Y轴初始坐标位置是主轴装置与形成在夹具上的第二阶梯部分相对并且沿Z轴方向在喷嘴的前端与第二阶梯部分之间具有恒定的预定距离的位置；加工前初始数据存储单元，用于存储加工前初始数据，所述加工前初始数据包括三个轴的坐标与压力之间的各个关系，所述压力是在加工工件之前通过移动喷嘴以便经过三个轴的各个初始坐标位置，并且将流体喷射至夹具，从而由压力测量单元测得的；加工后数据存储单元，用于存储加工后数据，所述加工后数据包括三个轴的坐标与压力之间的各个关系，所述压力是在加工工件之后连续地移动喷嘴至三个轴的各个初始坐标位置，并且将流体喷射至夹具，从而由压力测量单元测得的；测量坐标值产生单元，用于根据加工前初始数据和加工后数据产生三个轴的各个测量坐标值；以及移动量校正单元，用于根据各个初始坐标值和各个测量坐标值校正工件数据中的主轴装置在三个轴上的移动量。