发明名称 | 一种精密定位和调整工装 | ||
摘要 | 本发明公开了一种精密定位和调整工装,包括盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6),还包括平板(1)、圆环(3)和Rz调整装置(4),圆环(3)由具有不同直径的阶梯状圆环组成并可通过其中一圆环的圆柱面及平面定位与平板(1)紧固安装在一起,Rz调整装置(4)安装在平板的槽面(104)中,定位轴(6)通过平板上销孔(101)定位及螺纹与盖板连接安装在平板上,盖板(2)通过螺纹连接安装在平板上,垫片(5)安装在定位轴(6)与平板(1)之间,盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)、和与它们连接最近的平板及圆环组成一套调节模块。有益作用是,保证了X、Y精度和Rz精度的定位精度。 | ||
申请公布号 | CN100504612C | 申请公布日期 | 2009.06.24 |
申请号 | CN200510112113.1 | 申请日期 | 2005.12.27 |
申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 刘育;张国韦;袁志扬;严天宏 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王 洁 |
主权项 | 1. 一种精密定位和调整工装,可将被安装件定位于基板上,包括盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6),其特征在于:还包括平板(1)、圆环(3)和Rz调整装置(4);圆环(3)由具有不同直径的阶梯状圆环组成,并可通过其中一圆环的圆柱面及平面定位与平板(1)紧固安装在一起,Rz调整装置(4)安装在平板的槽面(104)中,定位轴(6)通过平板上销孔(101)定位及螺纹与盖板连接安装在平板上,而盖板(2)通过螺纹连接安装在平板上,垫片(5)安装在定位轴(6)与平板(1)之间,定位轴(6)辅助定位被安装件的连接部分柔性块(7),使后者可定位于基板上,盖板(2)、垫片(5)、定位轴(6)、和与它们连接最近的平板及圆环组成一套调节模块,而与平板(1)及圆环(3)所连接的盖板(2)、垫片(5)和定位轴(6)数目为三个或三个以上;其中,平板(1)上销孔(101)与被安装件的相应销孔在一次装夹中一起加工,圆环(3)的圆柱面与基板对应圆柱面相配合,平板(1)上有一个与销孔(101)有相互精度关系的侧面(103)。 | ||
地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 |