真空泵

摘要

本发明涉及一种真空泵。真空泵10包括：真空泵浦机构12，其安装成以便由轴14旋转；无刷电动机16，其用于使所述轴旋转。真空泵浦机构12包括涡轮式泵浦机构18和分子拖动泵浦机构20，涡轮式泵浦机构18包括多个泵级，分子拖动泵浦机构20包括至少一个泵级。轴14由轴承22支承，以便旋转。电动机16包括相对于轴14固定的永磁体转子24。转子24具有四个磁极，并且定子26具有非交叠的定子线圈。

主权项

1. 一种真空泵，其包括可由轴旋转的真空泵浦机构和用于使所述轴旋转的无刷电动机，其中，所述电动机包括：永磁体转子，其相对于所述轴固定，所述转子具有至少四个磁极；定子，其相对于泵壳固定，所述定子具有非交叠的定子线圈；和电动机控制装置，其用于根据所述转子和所述定子的相对位置来选择性地激励所述定子线圈，使得所述转子可相对于所述定子而旋转，并且，其中，所述电动机控制装置配置成以便以某一频率来激励所述定子线圈，所述频率足以使所述真空泵浦机构以至少20,000转每分钟的速度旋转。