| 发明名称 | 硅片干燥设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型一种硅片干燥设备，包含一处理槽、一液体注入装置、一底部排液装置、一侧边排液装置与一排气装置设于处理槽单边、一硅片承载装置包含一顶持件、一外围固持件与一驱动装置用以驱动该顶持件，外围固持件可分离地与顶持件连动；以及一上盖体可容纳至少一硅片于其中，并且设有至少一卡持件可松开地(releasably)卡持该硅片。 | ||
| 申请公布号 | CN201262946Y | 申请公布日期 | 2009.06.24 |
| 申请号 | CN200820113806.1 | 申请日期 | 2008.07.01 |
| 申请人 | 辛耘企业股份有限公司 | 发明人 | 冯传彰;许本谐;谢宏亮;刘茂林;郑加元;林生海 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I;F26B5/00(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 1、一种硅片干燥设备，包含：一处理槽；一液体注入装置，用以将一处理液注入该处理槽；一侧边排液装置，用以将该处理液排出该硅片干燥设备；至少一喷嘴端口，用以提供一气体于该硅片通过干燥该硅片；一排气装置，用以将该气体排出该硅片干燥设备；以及一硅片承载装置，用以移动该硅片，其特征在于该硅片承载装置包括：一顶持件；一驱动装置，用以驱动该顶持件；以及一外围固持件，可分离地与该顶持件连动。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||