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发明名称
Positive resist composition and pattern forming method using the same
摘要
申请公布号
EP1835341(B1)
申请公布日期
2009.06.24
申请号
EP20070005155
申请日期
2007.03.13
申请人
FUJIFILM CORPORATION
发明人
MIZUTANI, KAZUYOSHI;IWATO, KAORU;KODAMA, KUNIHIKO;MAKINO, MASAOMI
分类号
G03F7/039
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
主权项
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