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发明名称
摘要
申请公布号
JP4282616(B2)
申请公布日期
2009.06.24
申请号
JP20050029454
申请日期
2005.02.04
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/768
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
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