发明名称 |
压电元件,液体喷射头和液体喷射设备 |
摘要 |
本发明公开了一种具有高耐受电压和更长的耐久性寿命的压电元件,一种液体喷射头和一种液体喷射设备。该压电元件包括:设置在衬底之上的下电极;设置在所述下电极之上的压电层;和设置在所述压电层之上的上电极,并且所述压电层的电阻率不低于20MΩ·cm。 |
申请公布号 |
CN100505357C |
申请公布日期 |
2009.06.24 |
申请号 |
CN200610065140.2 |
申请日期 |
2006.03.21 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
李欣山 |
分类号 |
H01L41/09(2006.01)I;H01L41/18(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I;B41J2/045(2006.01)I |
主分类号 |
H01L41/09(2006.01)I |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
柳春雷 |
主权项 |
1. 一种压电元件,包括:设置在衬底之上的下电极;设置在所述下电极之上的压电层;和设置在所述压电层之上的上电极,其中,选自镍、锰、锶中的至少一种掺杂剂被掺杂到所述压电层中,所述压电层的电阻率不低于20MΩ·cm,所述压电层的泄漏电流不大于1×10-8A/cm2,所述压电层的矫顽电场为15到30kV/cm,所述压电层的相对介电常数为750到1500。 |
地址 |
日本东京都 |