发明名称 有源矩阵电子阵列装置
摘要 本发明提供一种有源矩阵装置,其具有装置元件的一阵列(54),每一装置元件包含至少一个薄膜晶体管(34)。一薄膜导电加热器元件配置(10)提供于该装置的一基板上,且所述薄膜晶体管的半导体岛提供于该加热器元件配置(10)上。该加热配置可保持在该装置中的适当位置处,藉此避免对处理过程中移除该加热器元件配置之层的需要。
申请公布号 CN100505274C 申请公布日期 2009.06.24
申请号 CN200580020224.8 申请日期 2005.06.08
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 P·W·葛林
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 张雪梅;王忠忠
主权项 1. 一种有源矩阵电子阵列装置,其包含装置元件的一阵列(54),每一装置元件包含至少一个薄膜晶体管(34),其中该装置包含:一基板(12);一提供于该基板上的薄膜导电加热器元件配置(10);一提供于该加热器元件配置(10)上的电性绝缘层(16);及限定所述薄膜晶体管并提供于该电性绝缘层(16)上的复数个薄膜层,所述薄膜层包含一半导体层(18),且其中限定所述薄膜晶体管的该半导体层(18)的至少部分被提供于该加热器元件配置(10)上。
地址 荷兰艾恩德霍芬