发明名称 |
有源矩阵电子阵列装置 |
摘要 |
本发明提供一种有源矩阵装置,其具有装置元件的一阵列(54),每一装置元件包含至少一个薄膜晶体管(34)。一薄膜导电加热器元件配置(10)提供于该装置的一基板上,且所述薄膜晶体管的半导体岛提供于该加热器元件配置(10)上。该加热配置可保持在该装置中的适当位置处,藉此避免对处理过程中移除该加热器元件配置之层的需要。 |
申请公布号 |
CN100505274C |
申请公布日期 |
2009.06.24 |
申请号 |
CN200580020224.8 |
申请日期 |
2005.06.08 |
申请人 |
皇家飞利浦电子股份有限公司 |
发明人 |
P·W·葛林 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
张雪梅;王忠忠 |
主权项 |
1. 一种有源矩阵电子阵列装置,其包含装置元件的一阵列(54),每一装置元件包含至少一个薄膜晶体管(34),其中该装置包含:一基板(12);一提供于该基板上的薄膜导电加热器元件配置(10);一提供于该加热器元件配置(10)上的电性绝缘层(16);及限定所述薄膜晶体管并提供于该电性绝缘层(16)上的复数个薄膜层,所述薄膜层包含一半导体层(18),且其中限定所述薄膜晶体管的该半导体层(18)的至少部分被提供于该加热器元件配置(10)上。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |