| 发明名称 | 防止衬底支座引起的金属污染的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及提高衬底润湿性的方法，该方法在于向所述衬底至少局部提供导电性、无金属、亲水的碳基涂层。该碳基涂层掺杂有氮，并且电阻率低于10<sup>8</sup>Ω-cm。本发明还涉及至少局部涂覆有导电的、无金属的、亲水的碳基涂层的衬底。 | ||
| 申请公布号 | CN101467243A | 申请公布日期 | 2009.06.24 |
| 申请号 | CN200780020392.6 | 申请日期 | 2007.05.31 |
| 申请人 | 贝卡尔特股份有限公司 | 发明人 | E·德克姆潘尼尔;M·P·科尔克;R·格罗内恩;C·L·阿克曼;C·温卡特拉曼 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李 帆 |
| 主权项 | 1. 提高衬底润湿性的方法，该方法在于向所述衬底至少局部提供导电的、无金属的、亲水的碳基涂层，所述碳基涂层掺杂有氮，所述碳基涂层具有低于108Ω-cm的电阻率。 | ||
| 地址 | 比利时茨维夫格姆 | ||