到处于真空状态下的装置的蒸气传送

摘要

本发明揭示将蒸气提供到容置于高真空腔室中的蒸气接收装置。作为实例，离子束植入器具有位于高真空腔室内的可移除高压离子源，及将蒸气传送到所述离子源且并不干扰移除所述离子源以进行维护的蒸气传送系统。为了将蒸气传送到蒸气接收装置，例如处于真空状态下的高压离子源，流动界面装置采取热传导阀块的形式。通过相应的装配及移除运动，所述界面装置的传送延伸部分在具有所述可移除蒸气接收装置的所述高真空腔室内自动连接及断开。在离子植入器中，以非干扰的方式将所述流动界面装置或阀块及反应性清洁气体源安装于使所述离子源与真空外壳绝缘的电绝缘套管上，且可在不干扰所述流动界面装置的情况下移除所述离子源。在所述流动界面装置中提供用于固体材料的多个气化器、用于反应性气体清洁的装备及用于控制流量的装备。

主权项

1. 一种蒸气传送系统，其包含高真空腔室、可移除地装配于所述高真空腔室内的蒸气接收装置及界定蒸气流径的流动界面装置，所述流动界面装置包含：位于所述真空腔室外侧的流径界定部分；及从所述外侧突出到所述高真空腔室中的流径界定传送延伸部分，所述传送延伸部分具有外部，所述外部被密封到所述高真空腔室的壁，所述流径的在所述高真空腔室外侧的部分经构造以将蒸气从蒸气源输送到所述传送延伸部分；及可分离流动连接部，所述可分离流动连接部在所述高真空腔室内所述传送延伸部分与和所述可移除蒸气接收装置相关联的入口通路之间，所述系统使得所述连接处的任何泄漏能够进入所述真空腔室内的真空。