| 发明名称 | 使用包括衍射光学元件的照明系统制造半导体器件的方法 | ||
| 摘要 | 一种包括衍射光学元件(DOE)的照明系统，具有粗糙表面的衍射光学元件(DOE)产生一种照明形状。包括粗糙表面的DOE产生具有角范围要素的多极照明形状，其中角范围要素是产生的多极照明形状的径向和角度的函数，以及其中角范围中的极点位置和极点尺寸随用于产生多极照明形状的径向范围而变化，以及使用该系统制造半导体器件的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN100504594C | 申请公布日期 | 2009.06.24 |
| 申请号 | CN200410047258.3 | 申请日期 | 2004.05.28 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 黄灿 |
| 分类号 | G03B27/54(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | G03B27/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 林宇清;谢丽娜 |
| 主权项 | 1、一种用于光刻工艺的衍射光学元件DOE，包括粗糙表面的DOE产生具有角范围要素的多极照明形状，其中角范围要素是产生的多极照明形状的径向和角度的函数，以及其中角范围中的极点的位置和极点的尺寸随用于产生多极照明形状的径向范围而改变，其中由I(r，θ)给出多极照明形状，I(r，θ)表示为径向范围要素A(r)与角范围要素C(r，θ)的乘积，其中(r，θ)是极坐标，且θ由r决定。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||