液滴喷出装置、构造体形成方法、以及电光学装置的制造方法

摘要

本发明提供一种液滴喷出装置。该装置具备：向被固定在对象物上的构造体形成区域喷出含有构造体形成材料的液滴的液滴喷出部，和向已弹落在构造体形成区域的液滴的至少一部分照射规定强度的能量束的能量束照射部。设定所述规定强度的值，使已弹落在构造体形成区域的液滴能以在构造体形成区域内湿润展开的方式流动。通过如此构成的液滴喷出装置，可以形成形状被高度控制的构造体。

主权项

1. 一种液滴喷出装置，该装置具备：向被规定在对象物上的构造体形成区域喷出含有构造体形成材料的液滴的液滴喷出部，所述对象物相对于液滴喷出部相对移动，和向已弹落在构造体形成区域的液滴的至少一部分照射能量束的能量束照射部；向已弹落在构造体形成区域的液滴的至少一部分照射的能量束具有设定为使该液滴以在构造体形成区域内湿润展开的方式流动的值的强度，所述液滴喷出装置为了以比所述对象物相对于所述液滴喷出部的相对移动速度快的速度相对于已弹落在构造体形成区域的液滴使能量束相对扫描，还具备使从能量束照射部照射的能量束的强度分布在时间上或空间上变化的机构。