无尘室

摘要

通过设置在无尘室顶棚部中的FFU或压差计等的信息，控制各FFU的吹出气流方向、风量。为改善无尘室内的风速分布，而使顶棚室内的压力变均匀，并使FFU的转数控制变得容易。为了控制无尘室内的气流方向，在无尘室内的栅格地板下部设置气流调节机构。通过这种结构，无尘室的运转状态可以最佳且省能。

主权项

1. 一种无尘室，具备：配置在无尘室顶棚部中的风扇过滤单元；控制该风扇过滤单元的控制装置；设置在该无尘室内的风速计；设置在上述无尘室地板下的气流调节器；和位于无尘室的一处的返回区域部，该无尘室的特征在于，上述风速计为三维风速计，通过该三维风速计信息能控制上述地板下的气流调节器的开口率，通过上述三维风速计信息检测无尘室内气流的气流方向，当上述无尘室内气流朝向返回区域侧时，栅格地板的开口率在返回区域侧的相反侧变大，在返回区域侧变小。