发明名称 A method and apparatus for detecting breakdown in ultra thin dielectric layers.
摘要
申请公布号 EP1276144(A3) 申请公布日期 2009.06.24
申请号 EP20020447071 申请日期 2002.04.22
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW 发明人 ROUSSEL, PHILIPPE;DEGRAEVE, ROBIN;VAN DEN BOSCH, GEERT
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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