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发明名称
A method and apparatus for detecting breakdown in ultra thin dielectric layers.
摘要
申请公布号
EP1276144(A3)
申请公布日期
2009.06.24
申请号
EP20020447071
申请日期
2002.04.22
申请人
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW
发明人
ROUSSEL, PHILIPPE;DEGRAEVE, ROBIN;VAN DEN BOSCH, GEERT
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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