发明名称
摘要
申请公布号 JP4285604(B2) 申请公布日期 2009.06.24
申请号 JP20030329135 申请日期 2003.09.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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