一种尾气处理器

摘要

本实用新型涉及一种尾气处理器，特别是一种用于硅外延反应气体的尾气处理装置，属晶体硅制备尾气处理装置技术领域。其结构中包括：两个相互连通的密闭水箱，水箱顶部设置用于处理SiHCl₃的水幕和处理HCl的处理塔，水幕上开设进气口，处理塔上部连通负压管，水幕和处理塔分别连通循环水泵，负压管连通负压水泵，循环水泵和负压水泵的进水口分别连接水箱，其特征在于：在循环水泵的进水口设置一过滤器。该特征可防止固溶物进入泵体，减少循环水泵的磨损及堵塞现象的发生，延长其使用寿命，降低设备维修率，减少生产成本。

主权项

1、一种尾气处理器，其结构中包括：两个相互连通的密闭水箱，水箱顶部设置用于处理SiHCl3的水幕和处理HCl的处理塔，水幕上开设进气口，处理塔上部连通负压管，水幕和处理塔分别连通循环水泵，负压管连通负压水泵，循环水泵和负压水泵的进水口分别连接水箱，其特征在于：在循环水泵的进水口设置一过滤器。