莫尔像差计

摘要

一种改进的测量光学系统(110)的波前像差的莫尔弯度计设备(100)，包括用于照明所述光学系统的表面区域(112)的光源(120)，用于将散射光线引导到将波前转换为莫尔条纹图案的弯度计部件(150)的光学中继系统(140)，用于对所述光学系统的出瞳(114)和所述莫尔条纹图案进行成像和显示的传感器/照相机部件(160)，以及用于计算所述光学系统的波前像差的条纹图案分析器，其改进之处在于对光学系统的出瞳(114)进行照明的照明源(130)；以及与所述照明源按照将所述设备的测量轴一致并准确对齐到所述光学系统的方式而协同工作的对齐系统(180)。相关方法也在此公开。

主权项

1. 一种测量光学系统的波前像差的莫尔弯度计设备，所述设备包括：用于照明所述光学系统的选定表面区域的第一光源；用于将来自所述第一光源且从所述光学系统的表面区域散射的光源照明引导到弯度计部件的光学中继系统，其中所述弯度计部件将来自所述光学系统的波前转换为莫尔条纹图案；以及用于计算所述光学系统的波前像差的条纹图案分析器，其特征在于：照明所述光学系统的出瞳的第二光源；用于对所述光学系统的出瞳和所述莫尔条纹图案进行成像和显示的传感器/照相机部件；以及对齐系统，用于实现相对于与所述设备相关的坐标系统的一致对齐和测量。