一种压力可控的外延顶笔装置

摘要

本发明公开的压力可控的外延顶笔装置，包括顶笔头，笔身，滑杆，弹簧，筒状笔杆和预紧螺丝，顶笔头紧固在笔身的一端，笔身的另一端设有中心螺纹孔和导向槽，滑杆置于筒状笔杆中，滑杆的一端与笔身的中心螺纹孔螺纹连接，滑杆的另一端具有与笔杆中的环形面配合的凸台，预紧螺丝拧接在筒状笔杆末端的螺纹孔中，弹簧置于笔杆的螺纹孔中，其一端抵住预紧螺丝，另一端抵住滑杆凸台的端面，笔杆的顶端设有与导向槽匹配的突出部分。该装置能够将顶笔作用于衬底片上的压力控制在一定的范围内，消除由于人为因素造成的顶片效果差别，提高外延片的电阻率一致性和厚度均匀性。

主权项

1. 一种压力可控的外延顶笔装置，其特征在于包括顶笔头(1)，笔身(2)，滑杆(3)，弹簧(4)，筒状笔杆(5)和预紧螺丝(6)，顶笔头(1)紧固在笔身(2)的一端，笔身(2)的另一端设有中心螺纹孔(9)和导向槽(7)，滑杆(3)置于筒状笔杆(5)中，滑杆(3)的一端与笔身(2)的中心螺纹孔(9)螺纹连接，滑杆(3)的另一端具有与筒状笔杆(5)中的环形面(8)配合的凸台(10)，预紧螺丝(6)拧接在筒状笔杆(5)末端的螺纹孔(11)中，弹簧(4)置于笔杆(5)末端的的螺纹孔(11)中，其一端抵住预紧螺丝(6)，另一端抵住滑杆(3)凸台(10)的端面，笔杆(5)的顶端设有与导向槽(7)匹配的突出部分。