单晶硅片的COP评价方法

摘要

将作为评价对象的晶片的评价区域沿半径方向以同心圆状分割，设定各分割而成的评价区域的COP个数的上限值，以该上限值为基准进行单晶硅片的合格与否的判定，从而能定量并客观地评价COP，能在明确的基准下给予正确的判定。通过使用该评价方法，能充分适应COP评价(检检测)的自动化、未来晶片的高品质化，能在单晶硅片的制造、半导体器件的制造中得到广泛应用。

主权项

1. 一种单晶硅片的COP评价方法，其特征在于，将所述晶片的评价区域沿半径方向以同心圆状分割，对分割而成的各评价区域设定COP个数的上限值，以该上限值为基准进行合格与否的判定。