MULTILAYER REFLECTING MIRROR, MULTILAYER REFLECTING MIRROR MANUFACTURING METHOD, OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD,申请号EP20060811216-传众专利搜索

发明名称	MULTILAYER REFLECTING MIRROR, MULTILAYER REFLECTING MIRROR MANUFACTURING METHOD, OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号	EP1947682(A4)	申请公布日期	2009.06.24
申请号	EP20060811216	申请日期	2006.10.04
申请人	NIKON CORPORATION	发明人	SHIRAISHI, MASAYUKI
分类号	H01L21/027;G02B5/08;G03F7/20;G21K1/06	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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