兼具校正大幅值离焦和像散像差的双压电片变形反射镜

摘要

一种兼具校正大幅值离焦和像散像差的双压电片变形反射镜，包含有镜面层、两个驱动层以及镜座；其特征在于：所述两个驱动层由两个圆形晶片组合而成；其中一个驱动层的其中一面的分立电极被划分为八个扇形区域，用于校正大幅值的离焦和像散类低阶像差；另一个驱动层的其中一面的分立电极被划分为十个以上小区域，用以校正其它的高阶像差。本发明的双压电片变形反射镜对离焦和像散像差的校正能力更加突出，同时也保证了高阶像差的校正精度，适合应用在目标像差以离焦和像散为主的自适应光学校正系统；而且本发明的双压电片变形反射镜结构简单，加工难度低，易于实现，成本较低。

主权项

1、一种兼具校正大幅值离焦和像散的双压电片变形反射镜，包含有镜面层、两个驱动层以及镜座；其特征在于：所述两个驱动层由两个圆形晶片组合而成；其中一个驱动层的其中一面的分立电极被划分为八个扇形区域，用于校正大幅值的离焦和像散类低阶像差；另一个驱动层的其中一面的分立电极被划分为十个以上小区域，用以校正其它的高阶像差。