| 发明名称 | 具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关 | ||
| 摘要 | 本发明涉及具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关。根据本发明的一个方面，提供了一种MEMS开关(10，30，40)。MEMS开关(10，30，40)包括：衬底(12)，电耦接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)，与衬底(12)机械耦接并且支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个的固定器(18)，以及被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动的栅极驱动器(6)。 | ||
| 申请公布号 | CN101465243A | 申请公布日期 | 2009.06.24 |
| 申请号 | CN200810188423.5 | 申请日期 | 2008.12.22 |
| 申请人 | 通用电气公司 | 发明人 | C·F·凯梅尔;X·王;M·F·艾米;K·苏布拉马尼安 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H59/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张雪梅;刘春元 |
| 主权项 | 1. 一种MEMS开关(10，30，40)，包括：衬底(12)；电耦接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)；固定器(18)，与衬底(12)机械耦接并且支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个；以及栅极驱动器(6)，被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||