| 发明名称 | 定位装置 | ||
| 摘要 | 提供一种即使基板大型化也不损伤基板的、能够正确定位的定位装置。在使滑动部件(6)后退的状态下，通过使压力缸单元(2)工作，使支持部件(3)上升，在浮起部件(8)的接受部分(11)的上面接受基板(W)，然后，通过使压力缸单元(2)工作以使支持部件(3)下降，基板(W)和对准部件(5)的滑动部件(6)处于同一水平，通过切换阀，浮起部件(8)的配管(12)与压缩空气源连接，从浮起部件(8)的接受部分(11)上面的槽(16、17)喷出空气，基板(W)从接受部分(11)的上面浮起，使对准部件(5)的滑动部件(6)前进，推杆(7)与基板(W)的边缘接触以进行定位。 | ||
| 申请公布号 | CN100505204C | 申请公布日期 | 2009.06.24 |
| 申请号 | CN200510137331.0 | 申请日期 | 2005.11.29 |
| 申请人 | 东京応化工业株式会社;龙云株式会社 | 发明人 | 谷本恒夫;楫间淳生;高濑真治;山口和伸 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 胡 强 |
| 主权项 | 1. 一种定位装置，是使基板浮起来进行定位的装置，其特征在于，该定位装置包括使基板浮起的浮起部件和对基板进行定位的对准部件，上述浮起部件多个地安装在呈板状或者格子状的支持部件上以覆盖基板的全部区域，而且浮起部件以其上面作为基板接受面，该基板接受面是平坦的，并且形成有规定面积的流体喷出区域，所述对准部件包围支持部件地设置多个，该对准部件在上部具有滑动部件，该滑动部件通过压力缸单元的工作相对于基板在水平方向进退移动，在滑动部件的前端安装着推杆，当与基板对接时，在施加规定压力以上的情况下，推杆后退以不损伤基板。 | ||
| 地址 | 日本川崎市 | ||