发明名称 图像传感器及其制造方法
摘要 本发明提供了一种图像传感器及其制造方法,其中该图像传感器包括:电路、金属互连件、第一衬底、金属离子注入绝缘层以及光电二极管。在所述第一衬底上和/或之上形成电路,并在所述金属互连件上和/或之上形成金属离子注入绝缘层。在位于金属离子注入绝缘层之上的结晶半导体层中形成光电二极管。本发明可同时提高图像传感器的分辨率和灵敏度。
申请公布号 CN101465362A 申请公布日期 2009.06.24
申请号 CN200810178087.6 申请日期 2008.12.19
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 李相彧
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 郑小军;冯志云
主权项 1. 一种图像传感器,包括:第一衬底;电路,包括位于所述第一衬底之上的金属互连件;金属离子注入绝缘层,位于所述金属互连件之上;以及光电二极管,位于在所述金属离子注入绝缘层之上的结晶半导体层中。
地址 韩国首尔