发明名称 | 图像传感器及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种图像传感器及其制造方法,其中该图像传感器包括:电路、金属互连件、第一衬底、金属离子注入绝缘层以及光电二极管。在所述第一衬底上和/或之上形成电路,并在所述金属互连件上和/或之上形成金属离子注入绝缘层。在位于金属离子注入绝缘层之上的结晶半导体层中形成光电二极管。本发明可同时提高图像传感器的分辨率和灵敏度。 | ||
申请公布号 | CN101465362A | 申请公布日期 | 2009.06.24 |
申请号 | CN200810178087.6 | 申请日期 | 2008.12.19 |
申请人 | 东部高科股份有限公司 | 发明人 | 李相彧 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑小军;冯志云 |
主权项 | 1. 一种图像传感器,包括:第一衬底;电路,包括位于所述第一衬底之上的金属互连件;金属离子注入绝缘层,位于所述金属互连件之上;以及光电二极管,位于在所述金属离子注入绝缘层之上的结晶半导体层中。 | ||
地址 | 韩国首尔 |