微结构错流式分离芯片

摘要

本发明的“一种微结构错流式分离芯片”，由硅质基片、沟道和盖片组成，沟道中的微柱或微坝作为分离过滤结构，其基于错流分离原理，沟道中微柱或微坝的排列方向与沟道轴向平行，且沿沟道轴向方向上微柱间的间隙大小或微坝顶端与盖片间的间隙大小由所需分离颗粒尺寸决定，微柱或微坝将沟道沿轴向至少分为两条微通道，不同尺寸颗粒在不同的微通道中流动并从不同出样口流出，实现不同尺寸颗粒的分离和收集。本发明利用微机电系统技术研制了一种基于错流过滤原理的分离芯片，采用错流式分离颗粒从原理上解决了芯片堵塞问题，并能进行循环分离，以获得纯度更高的目标颗粒。

主权项

1. 一种微结构错流式分离芯片，由硅质基片、沟道和盖片组成，其特征在于：基于错流分离原理，沟道中有微柱，微柱的排列方向与沟道轴向平行，微柱将沟道沿轴向至少分为两条微通道，且沿沟道方向上微柱间的间隙大小由所需分离颗粒的尺寸决定，微柱和微柱间隙作为分离过滤结构，尺寸大于微柱间隙的颗粒被分离过滤结构所阻挡留在微通道中，尺寸小于微柱间隙的颗粒通过分离过滤结构进入另一微通道中，不同尺寸颗粒在不同的微通道中流动，实现不同尺寸颗粒的分离和收集。