加速度传感器

摘要

加速度传感器(1)具有以悬浮方式放置在基座(2)的XY板表面上的框架状桁条(4)、用于通过支撑部分(5a，5b)以类似于桁条在两端被支撑的方式在基座(2)上支撑桁条(4)的桁条支撑/固定部分，以悬浮方式放置在基座(2)的XY板表面上的重量件部分(7)，以及用于以悬臂方式在桁条(4)处支撑重量件(7)的连接部分(8)。框架状桁条(4)的偏转变形使得重量件(7)在X轴方向、Y轴方向、以及Z轴方向的三轴方向上位移。在桁条(4)上设置了用于检测X轴方向上加速度的部分、用于检测Y轴方向上加速度的部分、以及用于检测Z轴方向上加速度的部分。在Y轴方向上延伸的部分(4a，4b)处，用于检测Z轴方向上加速度的部分设置在延伸部的基座端侧，而用于检测Y轴方向上加速度的部分设置在前端侧。

主权项

1. 一种加速度传感器，包括：基座；以悬浮状态设置在所述基座表面上的框架状桁条部分；通过支撑部分将所述桁条部分以双重支撑状态附连到所述基座的桁条部分支撑/固定单元，所述支撑部分在X轴方向上从所述桁条部分的任一侧向外延伸，所述X轴、Y轴、以及Z轴相互垂直；以悬浮状态设置在所述基座的所述表面上而且在Y轴方向上从所述桁条部分的Y轴方向的任一侧向外延伸的连接部分；以及连接到所述相应连接部分的远端的重量件部分，其中当所述框架状桁条部分变形时，所述重量件部分可在包括X轴方向、Y轴方向、以及Z轴方向的三轴方向上移动，其中所述桁条部分设置有用于基于由所述重量件部分在X轴方向上的移动引起的所述桁条部分的偏转来检测X轴方向上的加速度的X轴方向加速度检测单元，用于基于由所述重量件部分在Y轴方向上的移动引起的所述桁条部分的偏转来检测Y轴方向上的加速度的Y轴方向加速度检测单元，以及用于基于由所述重量件部分在Z轴方向上的移动引起的所述桁条部分的偏转来检测Z轴方向上的加速度的Z轴方向加速度检测单元，以及其中所述Z轴方向加速度检测单元设置在所述框架状桁条部分的Y轴方向延伸部分的近端附近，而所述Y轴方向加速度检测单元设置在所述Y轴方向延伸部分的远端附近，所述Y轴方向延伸部分从所述框架状桁条部分被所述支撑部分支撑的位置在Y轴方向上延伸。