| 发明名称 | 基板冷却装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种即使针对大型的基板也具有优异的安全性并同时提高生产率的基板冷却装置。基板冷却装置(25)具有：滚动搬送机构(5)，作为向一个方向搬送基板(G)的搬送路径；和冷却机构(7)，在壳体(6)内使由滚动搬送机构(5)搬送的基板(G)与冷却介质接触、进行冷却。 | ||
| 申请公布号 | CN100505155C | 申请公布日期 | 2009.06.24 |
| 申请号 | CN200710004353.9 | 申请日期 | 2007.01.24 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 相马康孝;坂井光广;和田宪雄;八寻俊一 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1. 一种基板冷却装置，用于冷却基板，其特征在于，具有：搬送路径，向一个方向搬送基板；壳体，设置成收容经所述搬送路径搬送的基板；和冷却机构，在所述壳体内向基板供给冷却流体、将基板冷却；所述冷却机构具有供给常温的冷却流体的预备冷却部和供给调节成规定温度的冷却流体的主冷却部，所述冷却机构具有向基板供给冷却流体的喷嘴，所述喷嘴，以在所述搬送路径的宽度方向延伸的方式，设置在与所述搬送路径的宽度方向相对的所述壳体的内壁部，所述喷嘴将冷却流体以与基板的主面交叉的方式供给。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||