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发明名称 POLISHING METHOD AND POLISHING FILM USED IN SUCH POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 EP1707312(A4) 申请公布日期 2009.06.24
申请号 EP20040821209 申请日期 2004.12.09
申请人 BANDO CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 NAKAHARA, MASATAKA;MAEYAMA, KATSUAKI;INOUE, SHIGEKI
分类号 B24B1/00;B24B55/02;B24B19/00;B24B19/22;B24D3/02;B24D3/28;B24D11/00;C09K3/14 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
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