发明名称 APPARATUS FOR TRANSPORTING THE PANELS
摘要
申请公布号 KR100904347(B1) 申请公布日期 2009.06.23
申请号 KR20070086558 申请日期 2007.08.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/67 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址